海(hai)德(de)漢新(xin)壹代(dai)電(dian)子和半(ban)導體(ti)生產(chan)技術

HEIDENHAIN海(hai)德(de)漢高精(jing)度和高產(chan)出(chu)：詳(xiang)細(xi)了解(jie)在HEIDENHAIN 2024半(ban)導體(ti)活動上(shang)亮相(xiang)的(de)電(dian)子和半(ban)導體(ti)生產(chan)的(de)全新(xin)解決(jue)方(fang)案(an)。

海(hai)德(de)漢全(quan)面提高精(jing)度：多達(da)六(liu)自由度的編(bian)碼器(qi)

我(wo)們(men)以(yi)多(duo)自由度技術為基礎設(she)計開發(fa)的編(bian)碼器(qi)可反(fan)饋(kui)壹(yi)個以(yi)上(shang)自由度的位(wei)置(zhi)。附加的反(fan)饋(kui)信(xin)號可顯著提高測量精度，檢測其它方(fang)向(xiang)運動(dong)的位置(zhi)誤差(cha)並(bing)進行(xing)補(bu)償，避免影響(xiang)系(xi)統(tong)。采用(yong)此(ci)創新(xin)技術的編(bian)碼器(qi)包括PP 6000 Dplus二維編(bian)碼器(qi)、LIP 6000 Dplus直線編(bian)碼器(qi)和GAP 1000間隙(xi)測量編(bian)碼器(qi)。

PP 6000：兩個測量方向(xiang)，達(da)到(dao)更高精(jing)

阿貝（Abbé）誤差(cha)影響(xiang)機(ji)床精(jing)度。阿貝（Abbé）誤差(cha)通(tong)常難以(yi)測量，而PP 6000 二(er)維(wei)編(bian)碼器(qi)可測量此(ci)誤差(cha)。這(zhe)款編(bian)碼器(qi)只需壹個讀(du)數(shu)頭同時測量兩個(ge)方(fang)向，測量面尺(chi)寸達464 mm x 464 mm，如(ru)果(guo)需要更大(da)測量面尺(chi)寸，可根(gen)據需(xu)要提供(gong)。直(zhi)接(jie)測量刀具中心點(dian)，最(zui)大(da)限(xian)度減小(xiao)阿貝（Abbé）誤差(cha)，提高設(she)備(bei)精(jing)度。EnDat 3接(jie)口(kou)在壹條電(dian)纜(lan)中傳輸(shu)兩路(lu)位置(zhi)反(fan)饋(kui)信(xin)號，因此(ci)，可減(jian)少電(dian)纜(lan)數量和減(jian)輕(qing)設(she)置(zhi)工作(zuo)。PP 6000 編(bian)碼器(qi)優(you)化運(yun)動(dong)系(xi)統(tong)的動態性能。

LIP 6000 Dplus : 1條柵尺(chi)，1個(ge)讀(du)數(shu)頭，2個自由度

LIP 6000 Dplus在壹(yi)個光(guang)柵基體(ti)上提供(gong)兩(liang)條獨立的光(guang)柵刻(ke)軌，交叉角為(wei)+45°和(he)–45°。專用(yong)的掃描場讀(du)數(shu)頭直接(jie)掃(sao)描每(mei)壹條光(guang)柵，在(zai)測量範圍(wei)的(de)全長(chang)上沿(yan)X軸主(zhu)方(fang)向(xiang)和(he)Y軸輔(fu)助(zhu)方(fang)向精確進行(xing)測量。接(jie)口(kou)為EnDat 3，因此(ci)可用(yong)壹條電(dian)纜(lan)將兩(liang)組(zu)位置(zhi)值發(fa)給控制系(xi)統(tong)。顯著簡化電(dian)纜(lan)連接(jie)，簡(jian)化編(bian)碼器(qi)安裝(zhuang)和提高運(yun)動系(xi)統(tong)動態性能。

輕(qing)松(song)檢(jian)查設(she)備(bei)精(jing)度：基於LIP 6000 Dplus的校準工(gong)具(ju)

我(wo)們(men)提供(gong)以(yi)LIP 6000 Dplus為(wei)基礎的(de)校(xiao)準工(gong)具(ju)，可用(yong)其隨(sui)時檢(jian)測和調整設(she)備(bei)。設(she)備(bei)的(de)校(xiao)準並(bing)非(fei)日(ri)常(chang)任務，用戶(hu)可租用我(wo)們(men)的(de)校(xiao)準工(gong)具(ju)，這(zhe)是HEIDENHAIN的壹項(xiang)服務，用(yong)戶(hu)無需(xu)購(gou)買(mai)和(he)持(chi)有(you)自己(ji)的(de)校(xiao)準工(gong)具(ju)。我(wo)們(men)提供(gong)認(ren)證的(de)校(xiao)準工(gong)具(ju)，在需要時可方(fang)便地用其檢查(zha)系(xi)統(tong)精度。

GAP 1081: 平面外(wai)間(jian)隙(xi)測量

海(hai)德(de)漢全(quan)新(xin)的間(jian)隙(xi)測量編(bian)碼器(qi)GAP 1081。可測量特殊(shu)鏡面與讀(du)數(shu)頭間的垂直(zhi)間(jian)隙(xi)。因此(ci)，可用(yong)GAP 1081進行(xing)簡(jian)單的垂直(zhi)位(wei)置(zhi)測量。也可以(yi)安(an)裝(zhuang)在平行於直線光(guang)柵尺(chi)的(de)方(fang)向上(shang)，例(li)如LIP 6000 Dplus，在(zai)直線軸方向(xiang)上連(lian)續(xu)進行(xing)垂直(zhi)測量。GAP 1081的鏡(jing)面長(chang)度可達(da)3 m。如果在鏡面上(shang)使(shi)用兩個(ge)讀(du)數(shu)頭，則可同(tong)時測量直線軸的俯(fu)仰(yang)和偏(pian)向。

海(hai)德(de)漢MRP 8081 Dplus：充(chong)分(fen)發(fa)揮編(bian)碼器(qi)的精度優(you)勢

盡(jin)管(guan)編(bian)碼器(qi)提供(gong)認(ren)證的(de)精(jing)度和精(jing)度檢定(ding)圖，但在應(ying)用(yong)中也可能無法(fa)充(chong)分(fen)發(fa)揮精(jing)度優(you)勢。原(yuan)因(yin)多(duo)種多樣(yang)，特別(bie)是編(bian)碼器(qi)被安裝(zhuang)在剛(gang)性不足的(de)部件上時。MRP 8081 Dplus提供(gong)可轉(zhuan)移(yi)精度，確保(bao)在應(ying)用(yong)中最(zui)大(da)限(xian)度達到(dao)的(de)精度。此(ci)技術使(shi)用了以(yi)下(xia)特性(xing)：

海(hai)德(de)漢高剛(gang)性的(de)軸承

四(si)個讀(du)數(shu)頭

為控制系(xi)統(tong)提供(gong)全(quan)套(tao)校(xiao)準數(shu)據

MRP 8081 Dplus提供(gong)這(zhe)些特性(xing)，在(zai)給(gei)定(ding)安(an)裝(zhuang)條件、擺(bai)動(dong)負載(zai)或(huo)其它外(wai)部條件下，例(li)如振動(dong)、突發(fa)的機械(xie)負載(zai)和溫(wen)度波動(dong)，系(xi)統(tong)精度可達(da)±0.2角秒(miao)。提高精(jing)度和工(gong)作性(xing)能，在不犧牲精(jing)度的條件下達(da)到(dao)更高電(dian)機(ji)轉(zhuan)速(su)。

除高精(jing)度角度測量外，MRP 8081 Dplus的(de)四(si)個讀(du)數(shu)頭還能測量軸的徑(jing)向導向誤差(cha)。未來，專用(yong)的電(dian)子電(dian)路(lu)可分(fen)析(xi)四(si)路(lu)讀(du)數(shu)頭信號，補(bu)償這(zhe)些誤差(cha)。

重(zhong)負載(zai)軸：不受齒(chi)槽扭矩或(huo)徑(jing)向(xiang)力(li)影響(xiang)

海(hai)德(de)漢MRP角度編(bian)碼器(qi)模塊(kuai)與ETEL力(li)矩電(dian)機(ji)珠(zhu)聯璧合共同(tong)打(da)造平滑(hua)性的(de)運(yun)動(dong)控制系(xi)統(tong)。無論(lun)齒(chi)槽扭矩還是徑向力對軸承的(de)導向精(jing)度都沒(mei)有影響(xiang)。我(wo)們(men)還提供(gong)SRP 5000角度編(bian)碼器(qi)模塊(kuai)，這(zhe)是壹款緊湊(cou)、超(chao)薄(bo)和(he)高剛(gang)性的(de)角度編(bian)碼器(qi)。其部件的高剛(gang)性還能確保在(zai)變(bian)化的負載(zai)條件下達(da)到(dao)壹(yi)致的(de)高精(jing)度。

HEIDENHAIN為高動(dong)態性能旋轉(zhuan)軸開發(fa)敞(chang)開式(shi)編(bian)碼器(qi)：ERO 2000，現(xian)在(zai)提供(gong)多(duo)自由度技術的ERP 1080 Dplus

電(dian)子和半(ban)導體(ti)生產(chan)是高速(su)發展(zhan)的(de)行業。HEIDENHAIN不斷開發(fa)敞(chang)開式(shi)編(bian)碼器(qi)，滿足高速(su)發展(zhan)要求。ERO 2000增(zeng)量式(shi)角度編(bian)碼器(qi)就是這(zhe)樣壹(yi)款產(chan)品，這(zhe)款編(bian)碼器(qi)專用(yong)於空(kong)間有(you)限和(he)高動(dong)態性能的應用(yong)，例(li)如掃(sao)描振鏡(jing)。而(er)且，ERP 1000精(jing)度高和(he)分(fen)辨率高。ERP 1080 Dplus是此(ci)產(chan)品線中的壹(yi)款產(chan)品，含(han)四個(ge)讀(du)數(shu)頭，其工作(zuo)可靠(kao)性和安裝(zhuang)優(you)點與MRP 8081 Dplus角度編(bian)碼器(qi)模塊(kuai)相(xiang)同(tong)。

總(zong)線式(shi)工作(zuo)的EnDat 3接(jie)口(kou)：高速(su)，易(yi)用(yong)，經(jing)濟(ji)

要實(shi)現(xian)系(xi)統(tong)的緊密集成(cheng)，同時面向(xiang)未來的數(shu)字化(hua)時代(dai)，包(bao)括總(zong)線式(shi)工作(zuo)要求，EnDat 3是編(bian)碼器(qi)接(jie)口(kou)的理想選擇。EnDat 3可為(wei)自動化(hua)系(xi)統(tong)減少連(lian)接(jie)電(dian)纜(lan)數量，可提供(gong)豐(feng)富的(de)診(zhen)斷功(gong)能，可實(shi)現(xian)更高安(an)全性和(he)可靠(kao)性。該(gai)接(jie)口(kou)提供(gong)通(tong)用型通(tong)信技術，可傳(chuan)輸豐(feng)富的(de)數(shu)據，不僅包(bao)括(kuo)位置(zhi)反(fan)饋(kui)數(shu)據，還包括(kuo)傳感器(qi)數據、系(xi)統(tong)監測數據和(he)自動配(pei)置(zhi)數據。

高動(dong)態性能直驅電(dian)機(ji)的理想選擇：RSF靈活的模塊(kuai)型光(guang)柵尺(chi)和(he)編(bian)碼器(qi)

RSF的直線光(guang)柵尺(chi)和(he)角度編(bian)碼器(qi)采用(yong)模塊(kuai)化(hua)設(she)計，應用(yong)靈活，可輕(qing)松(song)集成(cheng)在應(ying)用系(xi)統(tong)中。這(zhe)些光(guang)柵尺(chi)和(he)角度編(bian)碼器(qi)支(zhi)持(chi)大(da)量不同接(jie)口(kou)，可輕(qing)松(song)連(lian)接(jie)常(chang)用的控制(zhi)系(xi)統(tong)和支(zhi)持(chi)不同的(de)物(wu)理設(she)計。其它獲(huo)益還包括(kuo)寬松(song)的(de)安裝(zhuang)公差(cha)和易(yi)於(yu)安裝(zhuang)。RSF的全(quan)新(xin)MCR 16角度編(bian)碼器(qi)可達(da)更高信(xin)號質(zhi)量。 

LIC 3000：高動(dong)態性能直線軸的海(hai)德(de)漢敞(chang)開式(shi)直線光(guang)柵尺(chi)

LIC 3000系(xi)列光(guang)柵尺(chi)是繼LIC 4000系(xi)列和LIC 2000系(xi)列敞(chang)開式(shi)絕對直線光(guang)柵尺(chi)之後的(de)又(you)壹個(ge)產(chan)品線。LIC 3000測量步距(ju)僅(jin)10 nm，運動速(su)度可達(da)600 m/min。LIC 3000直線光(guang)柵尺(chi)可進行(xing)直(zhi)線軸高動(dong)態性能和高精(jing)度位置(zhi)測量，測量長(chang)度可達(da)10 m。

LIC 3000的大(da)型掃描場可有(you)效提高抗(kang)汙(wu)性能。測量基準的(de)局(ju)部汙(wu)染(ran)對信號質(zhi)量和測量穩(wen)定(ding)性(xing)的(de)影響(xiang)十(shi)分(fen)有(you)限(xian)。由於LIC 3000系(xi)列敞(chang)開式(shi)直線光(guang)柵尺(chi)動(dong)態性能高，測量長(chang)度大(da)和(he)堅(jian)固(gu)耐用(yong)，因此(ci)，這(zhe)款光(guang)柵尺(chi)應(ying)用(yong)靈活，在更多的(de)應用中都能充(chong)分(fen)發(fa)揮LIC光(guang)柵尺(chi)的(de)優(you)勢。

超(chao)薄(bo)直(zhi)線光(guang)柵尺(chi)：NUMERIK JENA的(de)LIKgo和(he)LIKselect

NUMERIK JENA LIKgo和LIKselect敞(chang)開式(shi)直線光(guang)柵尺(chi)是狹小(xiao)安(an)裝(zhuang)空(kong)間和(he)高精(jing)度應用(yong)的理(li)想選擇。

標準型的LIKgo光(guang)柵尺(chi)的(de)突出(chu)特點(dian)是體(ti)積小(xiao)，重(zhong)量輕(qing)。讀(du)數(shu)頭尺寸僅28 mm x 13 mm x 7.5 mm和(he)重(zhong)量僅10 g。這(zhe)款光(guang)柵尺(chi)采用(yong)新(xin)開發(fa)的20 µm柵距(ju)的(de)兩(liang)場掃(sao)描(miao)技術，測量步距(ju)可達(da)78.125 nm的精度，並(bing)提供(gong)高質(zhi)量信號(hao)和(he)優(you)異的(de)抗(kang)汙(wu)性能。

為滿足量身(shen)定(ding)制(zhi)要求，LIKselect光(guang)柵尺(chi)結(jie)合NUMERIK JENA的Kit L系(xi)列優(you)點，可以(yi)靈活配置(zhi)編(bian)碼器(qi)功(gong)能特性(xing)，滿足個(ge)性化的應用需求。

海(hai)德(de)漢新(xin)壹代(dai)電(dian)子和半(ban)導體(ti)生產(chan)技術